濕度傳感器是一種能檢測氣體中水汽含量并將其轉換為可用輸出信號的傳感器。隨著現代化的實現，很難找到一個于濕度的領域。濕度傳感器主要用于測量或控制氣體的相對濕度或優良的濕度和露點。溫度也可以間接控制。下面介紹了它的典型應用。
（1） 當溫度低于70℃（通常在-40℃以上）時，如果環境清潔，污染嚴重時，應使用聚合物傳感器和陶瓷傳感器（加熱清洗和再生型）。由于其加熱清洗過程，不能連續測量，能耗大（1～10W）。但是，該傳感器使用壽命長，可與加熱清洗周期長的傳感器一起使用，陶瓷傳感器，每2~3個月清洗一次。此外，內加熱式的能耗低于外加熱型。
（2） 濕度測量范圍為70～100℃，采用加熱清洗陶瓷傳感器。為了提高，可以進行線性和溫度補償。為了達到較的，在高溫高濕度的情況下，應配備微機頻繁加熱和清洗。例如，當RH大于80%時，需要30秒清洗一次，建議安裝自動加熱和清洗裝置。
（3） 濕度測量范圍為100～150℃。在陶瓷濕度傳感器主要用于制造高溫濕度計。